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<図書>
半導体の結晶欠陥制御の科学と技術 : シリコン編 / 角野浩二監修
ハンドウタイ ノ ケッショウ ケッカン セイギョ ノ カガク ト ギジュツ : シリコン ヘン

出版者 東京 : サイエンスフォーラム
出版年 1993.6
本文言語 日本語
大きさ 365p ; 31cm
一般注記 執筆者:角野浩二ほか
各章末:文献
著者標目 角野, 浩二(1931-) <スミノ, コウジ>
分 類 NDC8:549.8
書誌ID 1000106307
NCID BN0926373X WCLINK

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研 化学 549.8/H 1061494



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データ種別 図書
巻冊次 PRICE:59000円

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