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＜図書＞
半導体の結晶欠陥制御の科学と技術 : シリコン編 / 角野浩二監修
ハンドウタイ ノ ケッショウ ケッカン セイギョ ノ カガク ト ギジュツ : シリコン ヘン

出版者	東京 : サイエンスフォーラム
出版年	1993.6
本文言語	日本語
大きさ	365p ; 31cm
一般注記	執筆者:角野浩二ほか 各章末:文献
著者標目	角野, 浩二(1931-) <スミノ, コウジ>
分　類	NDC8:549.8
書誌ID	1000106307
NCID	BN0926373X

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